深入分析薄膜的光学特性——使用 Agilent Cary 全能型测量附件解决光谱振动问题

2024/01/11   下载量： 0 次

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应用领域 材料
检测样本 塑料
检测项目
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关于此项工作的更多详细信息首次发表于 Optics Express 16129，2012 年 7 月 2 日，第 20 卷，14 号[1]。 高质量多层光学镀膜的设计师和制造商需要使用可靠的方法来准确测量薄膜材料的光学常数。他们通常使用紫外-可见-红外分光光度计测得样品在标准入射和接近标准入射情况下的透射率 (T) 和反射率 (R)。了解所生成数据的准确度和任何误差的来源（随机或系统）将可以得到更可靠的样品表征数据[2,3]。

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测量数据集中每一个点的随机误差（随机噪音）都会有所不同，文献[2] 中已经指出，随机误差对于表征结果影响很小。但是，系统误差一般来说会造成光谱表征偏移，或导致 T 和 R曲线的大幅度波长变化，尤其对于薄膜参数精确测定的影响更为显著[2]。


通过公式 TL(λ) = 100% – R(λ) – T(λ) 计算薄膜样品[4,5] 总损耗(TL)，便可获悉关于数据准确度的重要信息。通常，在基底和薄膜不吸收和不散射的光谱范围内，总损耗为零，而在薄膜有吸收的区域，TL(λ) 会随着波长增加而减小。


分析总损耗谱时，经常会观察到光谱振荡，这会使人们对数据质量产生怀疑。此类振荡的来源包括：

– 测量 T 和 R 时的入射角 (AOI) 不同

– 薄膜吸收和干扰

– 镀膜厚度轻微不均匀


文献 1 [1] 中讨论了总损耗中振荡来源的完整报告。本应用简报展示了配备全能型测量附件 (UMA) 的 Agilent Cary 5000UV-Vis-NIR 分光光度计如何创新地在不移动样品的情况下测量薄膜特性 T 和 R。


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文献贡献者

安捷伦科技(中国)有限公司
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