使用 Agilent 7900 ICP-MS 测定高纯石英砂中的痕量杂质元素

2024/05/13   下载量： 3 次

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应用领域 半导体
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高纯石英砂作为一种重要的新材料，广泛应用于集成电路、半导体芯片、光伏、光纤等高端制造行业中。其中，半导体和光伏是对高纯石英砂需求最大的两个行业。高纯石英砂在光伏行业中主要用于制作石英坩埚，在半导体行业中主要用于晶圆生产中的扩散和刻蚀工艺设备部件。

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本文介绍了一种使用 Agilent 7900 ICP-MS 检测高纯石英砂中的痕量杂质元素含量的方法。该方法灵敏度高且准确度出色，可满足光伏及半导体行业对高纯石英砂材料中杂质元素分析的需求。


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文献贡献者

安捷伦科技(中国)有限公司
钻石会员 丨 第23年
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