1SU9000在低电压电子能量损失谱中的应用

2017/03/20   下载量: 5

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应用领域 半导体
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电子能量损失谱(EELS)作为一种元素分析方法已经在透射电镜中被广泛使用。但是,传统的透射电镜由于电压过高,对于某些材料(如纳米材料、弱相位)进行EELS分析时会产生较大的损伤,或者无法显示足够的衬度,这类材料往往需要低电压(<30kV)的EELS分析。日立的SU9000既有扫描电镜的功能,同时又带有EELS和电子衍射等透射电镜的分析功能,很好的填补了透射电镜在低电压EELS和电子衍射方面的缺陷。 在线PDF阅读

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电子能量损失谱(EELS)作为一种元素分析方法已经在透射电镜中被广泛使用。但是,传统的透射电镜由于电压过高,对于某些材料(如纳米材料、弱相位)进行EELS分析时会产生较大的损伤,或者无法显示足够的衬度,这类材料往往需要低电压(<30kV)的EELS分析。日立的SU9000既有扫描电镜的功能,同时又带有EELS和电子衍射等透射电镜的分析功能,很好的填补了透射电镜在低电压EELS和电子衍射方面的缺陷。

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