爱丁堡光谱系列在半导体行业中的应用解决方案

2024/06/27   下载量： 1 次

方案摘要

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应用领域 半导体
检测样本 集成电路
检测项目
参考标准 GB/T 30656-2023《碳化硅单晶抛光片》 SJT 11501-2015 碳化硅单晶晶型的测试方法 GB/35306《硅单晶中碳、氧含量的测定 低温傅里叶红外光谱法 》； GB/T24574 《单晶硅中Ⅲ－Ⅴ族杂质的光致发光测试方法》；（SEMI MF 1389-0704 ） GB/T 36705-2018《氮化镓衬底片载流子浓度的检测拉曼光谱法》；  GB/T 34899—2017微机电系统（MEMS）技术 基于拉曼光谱法的微结构表面应力测试方法

半导体是电子产品的核心,是信息产业的基石。半导体行业已成为全球重要的战略性产业之一。随着全球经济的发展,半导体市场需求与竞争也不断增加,对半导体创新技术和材料迭代更新均提出了更高的需求。目前,半导体材料作为整体行业重要的上游支撑材料,如今已发展到四代半导体,在这些材料提纯制备和生产过程中,其物理性质如晶型结构、杂质含量。缺陷类型及浓度、应力及应变等决定了最终产品的各种性能。爱丁堡分子光谱提供显微拉曼、光致发光及傅里叶红外表征技术,协助生产过程对这些材料属性进行监测与把控。

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半导体是电子产品的核心,是信息产业的基石。半导体行业已成为全球重要的战略性产业之一。随着全球经济的发展,半导体市场需求与竞争也不断增加,对半导体创新技术和材料迭代更新均提出了更高的需求。目前,半导体材料作为整体行业重要的上游支撑材料,如今已发展到四代半导体,在这些材料提纯制备和生产过程中,其物理性质如晶型结构、杂质含量。缺陷类型及浓度、应力及应变等决定了最终产品的各种性能。爱丁堡分子光谱提供显微拉曼、光致发光及傅里叶红外表征技术,协助生产过程对这些材料属性进行监测与把控。

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天美仪拓实验室设备（上海）有限公司
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