Picosun原子层沉积系统（ALD) P-200 Pro_价格-北京正通远恒科技有限公司

核心参数

产地类别：进口
衬底尺寸： 50 – 200 mm /单片 156 mm x 156 mm 太阳能硅片 150 mm x 150 mm 显示面板
工艺温度： 50 - 500 °C , 可选更高温度
前驱体数：液态, 固态, 气态, 臭氧源, 等离子体（最多4路气体）：前驱源余量传感器，并提供清洗和装源服务 6根独立源管线，最多加载12个前驱体源（加上Plasma管路，共7根独立源管线）
重量： 790 kg
尺寸(W x H x D)： 160 cm x 80 cm x 240 cm
均匀性：大于99%

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产品详情

PICOSUN™ P系列量产ALD系统定义了高产量ALD的新时代。我们全自动化、真空集群与产线兼容的P系列ALD确保了最大的产出效率，并且具有世界级的工艺纯度和薄膜均匀性，甚至能完全满足具有最严格要求的半导体行业标准。PICOSUN™ P系列ALD高效紧凑的设计节约了昂贵的场地成本，系统的易维护性减少了停工期。对于系统的维护、工艺故障的排除，我们为客户提供专业的售后服务Picosupport™。根据用户的需求，确保每时每（24/7/365）快速提供全面的解决方案。在购买之前，我们提供做样服务，确保系统具有最好的性能，完全满足您的需求。

PICOSUN™ 200mm 生产线上的产品是200mm以下晶圆的自动化、高产量的工业ALD加工设备。包括PICOSUN™ P系列Pro ALD设备。该工具可以独立工作，也可以集成到PICOPLATFORM™200真空集群系统以达到更高的产量和自动化水平。为了节约昂贵的设施空间，所有PICOSUN™的ALD系统有着紧凑，高效的设计。集成的专业机柜，装载着前驱体和电子元件，保证了快速简便的维护和最短的停机时间。PICOSUN™ P系列Pro工具保证了最大产能以及最节约成本的情况下得到优秀的ALD工艺质量，并履行严格的现代半导体产业的生产力和安全要求。

北京正通远恒科技有限公司为您提供Picosun原子层沉积系统（ALD) P-200 Pro，Picosun P-200 Pro产地为芬兰，属于进口原子层沉积设备，除了原子层沉积系统（ALD) P-200 Pro的参数、价格、型号、原理等信息外，还可为您提供更多原子层沉积设备,北京正通远恒客服电话400-860-5168转0338，售前、售后均可联系。

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售后服务

产品货期： 90天
培训服务：安装调试现场免费培训
维修响应时间： 2天内

Business information

工商信息

信息已认证

企业名称: 北京正通远恒科技有限公司
企业类型:
信用代码: 110105001988017
成立日期: 2001年03月09日
注册资本: 30
经营范围: 科技产品的技术开发、技术培训、技术服务、技术咨询;信息咨询(不含中介服务);市场调研;财务咨询;零售仪器仪表、机械设备、电器设备、化工产品(不含一类易制毒化学品)、建筑材料、五金交电、计算机及配件、百货;承办展览展示;组织文化艺术交流。(企业依法自主选择经营项目,开展经营活动;依法须经批准的项目,经相关部门批准后依批准的内容开展经营活动;不得从事本市产业政策禁止和限制类项目的经营活动。)

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型号：	P-200 Pro
产地：	芬兰
品牌：	Picosun
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