大尺寸脉冲激光沉积系统 Large-Area PLD Systems

大尺寸脉冲激光沉积系统 Large-Area PLD Systems

参考价：面议
型号： Large-Area PLD Systems
产地： 美国
品牌： Neocera
评分：
核心参数
北京正通远恒科技有限公司
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产品详情

产品简介

Neocera大尺寸PLD系统用于在各种衬底上沉积各种高质量的薄膜，晶圆（wafer）直径可达8 "(200毫米)。基片旋转结合激光扫描提供整个晶圆区域的厚度均匀性。激光束扫描附件采用了独特的Neocera设计，当激光束扫描时，可以在目标上产生固定的激光通量(J/cm2)。当激光束通过目标表面扫描时，激光束扫描使用独特的扫描程序。激光位置在目标上的停留时间遵循逆速度程序，促进了薄膜厚度的良好控制。用户可以完全控制扫描参数的必要改变，厚度轮廓取决于沉积压力。


产品特点

•全自动大尺寸PLD系统

•晶圆尺寸:4 "(100毫米)，6 "(150毫米)和8 "(200毫米)直径

•外延薄膜、多层异质结构和超晶格的沉积

•高温下氧化膜沉积的氧相容性

•自动激光扫描厚度均匀性


技术参数

1.衬底尺寸:(直径)4 " (100mm)，6 " (150mm)和8 " (200mn)

2.PLD腔室尺寸:18英寸直径球体或圆柱体。

3.衬底加热:850 ℃(4 "wafers))，750℃(6 "wafers)，700℃(8" wafers)

4.目标旋转: 直径4 × 2"

5.厚度均匀性: ±5%或更好。

6.工业气体: O2, N2, Ar， (MFC控制)

7.Loadlocks: 包括

8.自动化: Windows 7, LabView 2013




北京正通远恒科技有限公司为您提供Neocera大尺寸脉冲激光沉积系统 Large-Area PLD Systems，NeoceraLarge-Area PLD Systems产地为美国，属于进口外延系统，除了大尺寸脉冲激光沉积系统 Large-Area PLD Systems的参数、价格、型号、原理等信息外，还可为您提供脉冲激光沉积系统 180 Laser MBE/PLD 、脉冲激光沉积系统 Pioneer 180 MAPLE PLD 、高级型脉冲激光沉积系统 Pioneer 120 Advanced PLD ,北京正通远恒客服电话400-860-5168转0338，售前、售后均可联系。

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售后服务
  • 产品货期： 90天
  • 培训服务： 安装调试现场免费培训
  • 维修响应时间： 2天内
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