真空紫外椭偏仪

真空紫外椭偏仪

参考价：面议
型号： UVISEL 2 VUV
产地： 法国
品牌： HORIBA
评分：
核心参数
HORIBA（中国）
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产品详情

    专为VUV 测量设计，整个系统处于真空状态，无氧气吸收。具备高度准确性的超快测量速度；快速样品室抽真空能力，方便快速更换样品；氮气消耗量少。

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产品特点

  • 50KHz 高频PEM 相位调制技术

  • 45 秒内完成充氮气

  • 2 分钟内完成样品室抽真空

  • 8 分钟内完成光谱全谱范围内测量

  • 两种工作模式：氮气清洗结合抽

  • 真空、连续氮气清洗

  • 光谱范围：147nm~850nm；147nm~2100nm



重点应用领域

  • 超薄膜

  • 157nm 光刻新材料

  • 有机材料、高分子材料

  • 高k 材料：HfO2、Al2O3、TiO2、HfxAlyOz

  • 抗反射涂层

  • 半导体和介电材料电子跃迁

  • MgF2、CaF2、LaF3


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HORIBA（中国）为您提供HORIBA真空紫外椭偏仪UVISEL 2 VUV，HORIBAUVISEL 2 VUV产地为法国，属于进口椭偏仪，除了真空紫外椭偏仪的参数、价格、型号、原理等信息外，还可为您提供HORIBA UVISEL Plus研究级经典型椭偏仪 、HORIBA Smart SE智能型多功能椭偏仪、在线椭偏仪 In-situ series,HORIBA客服电话400-860-3611，售前、售后均可联系。

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