白光干涉仪（三维光学轮廓仪）的原理及应用介绍

2023/10/20   下载量： 0 次

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应用领域 能源/新能源
检测样本 太阳能
检测项目
参考标准 /

照明光束经半反半透分光镜分成两束光，分别投射到样品表面和参考镜表面。从两 个表面反射的两束光相互干涉，在CCD相机感光面会观察到明暗相间的干涉条纹。干涉条纹的亮度取决于两束光的光程差，根据白光干涉条纹明暗度以及干涉条纹出现的位置计算出被测样品的相对高度，从而得到样品表面的三维尺寸信息。

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一．白光干涉仪（三维光学轮廓仪）的原理
照明光束经半反半透分光镜分成两束光，分别投射到样品表面和参考镜表面。从两个表面反射的两束光相互干涉，在CCD相机感光面会观察到明暗相间的干涉条纹。干涉条纹的亮度取决于两束光的光程差，根据白光干涉条纹明暗度以及干涉条纹出现的位置计算出被测样品的相对高度，从而得到样品表面的三维尺寸信息。如下图所示。


 

二．白光干涉仪的优点：
非接触式测量，不损伤样品；
测试效率高，几秒钟成像，自动分析结果；
高度方向分辨率高，在不同物镜下均可达0.1nm，实现亚纳米级的测量；
优异的重复性；
分析功能强大，简便易用；
优异的扩展性。


三. 白光干涉仪的作用
可以进行膜厚测量，沟槽测量，翘曲分析，表面粗糙度测量，表面高度及盲孔测量，样品表面图案尺寸测量等。广泛应用于半导体，光学器件，太阳能电池，MEMS，生命科学，材料学等行业。


四．白光干涉仪介绍

采用全新的、高精度干涉图谱成像控制、精密计算技术，产品弥补国内空白，打破国外产品的垄断，达到国际先进水平的白光干涉显微技术。干涉测量是世界主要的快速、无接触三维纳米检测技术，降低三维纳米显微技术产品化的成本，扩大技术的测量范围。


五．白光干涉仪的应用及效果
1. 在太阳能产业的应用


测量太阳能电池工艺研发、生产共同面临的微纳米级3D特征尺寸

表面制绒、栅线、激光打孔

2. 在集成电路产业的应用

测量集成电路工艺研发、生产共同面临的微纳米级3D特征尺寸

台阶高、表面粗糙度、表面缺陷、激光刻槽

六．选择该白光干涉仪的产品优势

与市场上同类产品相比，该白光干涉仪可以自动量线宽，线高，也可以用软件算峰面积，和理论峰与实际峰的比值，可以大大减少人为测量带来的误差，同时测量效率也得到极大提高。


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