加速电压效应对扫描电镜成像质量的影响

2020-08-27 19:40  下载量:68

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根据扫描电镜激发样品的物理信号(二次电子、背散射电子、特征 X 射线等)主要取决于入射电子束的加速电压的特点。探讨不同电压在不同样品上的使用效果。

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