四氟化硅传感器

四氟化硅传感器

参考价：面议
型号： *-
产地： 湖北
品牌： 四方光电
评分：
核心参数
四方光电（武汉）仪器有限公司
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红外气体传感器SiF4.jpg

四氟化硅传感器是由四方光电自主研发的高性能气体传感器，产品基于非分光红外技术(NDIR)，能够精确测量半导体等应用中产生的SiF4、WF6、CF4、SF6、NF3、CO2等气体，兼容机台内常见预留尺寸、法兰和通讯协议，适合半导体行业化学沉积设备、原子层沉积设备腔室的清洁终点监测。

四氟化硅传感器产品特性

使用NDIR技术，多气体监测支持(SiF4、WF6、CF4、SF6、NF3、CO2等气体)

响应时间快，高灵敏度

无耗材

模拟/数字通信

模块化设计，便于集成


四氟化硅传感器技术参数

检测原理NDIR
检测气体SiF4、WF6、CF4、SF6、NF3、CO2
量程1~264ppm(0~200mTorr)
重复性±0.5%
线性±1%F.S.
检测限1ppm





四方光电（武汉）仪器有限公司为您提供四方光电四氟化硅传感器*-，四方光电*-产地为湖北，属于国产气体报警器/气体探测器/气体传感器，除了四氟化硅传感器的参数、价格、型号、原理等信息外，还可为您提供更多气体报警器/气体探测器/气体传感器,四方仪器客服电话400-675-5220，售前、售后均可联系。

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售后服务
  • 产品货期： 15天
  • 培训服务： 安装调试现场免费培训

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