日立FT110A X射线镀层测厚仪
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日立FT110A X射线镀层测厚仪

日立FT110A X射线镀层测厚仪

参考价:¥50万 - 100万
型号: FT110A
产地: 日本
品牌: 日立
评分:
应用领域:
核心参数
创新点
1. 通过自动定位功能提高操作性 测量样品时,以往需花费约10秒的样品对焦,现在3秒内即可完成,大大提高样品定位的操作性。 2. 微区膜厚测量精度提高 通过缩小与样品间的距离等,致使在微小准直器(0.1、0.2mm)下,也能够大幅度提高膜厚测量的精度。 3. 多达5层的多镀层测量 使用薄膜FP法软件,即使没有厚度标准片也可进行多达5层10元素的多镀层测量。 4. 广域观察系统(选配) 可从最大250×200mm的样品整体图像指定测量位置。 5. 对应大型印刷线路板(选配) 可对600×600mm的大型印刷线路板进行测量。 6. 低价位 与以往机型相比,既提高了功能性又降低20%以上的价格。
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产品详情

概要

自1978年以来取得傲人销量的X射线荧光镀层厚度测量仪的第八代产品FT110A。在测量精度、操作性能、软件上有新的优化。

通过自动定位功能,只需把样品放在样品台上,便能在数秒内自动对准观察样品焦点,省略了以前手动逐次对焦的操作,大幅提高了测量效果。
 

 

型号名称:FT110A

测量元素:原子序数22(Ti)~83(Bi)

检测器:比例计数管

X射线管:管电压:50kV    管电流:1mA

准直器:4种(Φ0.05mm、Φ0.1mm、Φ0.2mm、Φ0.025×0.4mm)

样品观察:CCD摄像头(可进行广域观察)

X-Ray Station:电脑、19英寸液晶显示器

膜厚测量软件:薄膜EP法、标准曲线法

测量功能:自动测量、中心搜索

定性功能:KL标记、比较表示

使用电源:220V/7.5A


 

特长:

1.自动对焦功能 自动接近功能
   在FT110A样品台上放置各种高度的样品时,只要高低差在80mm范围内,即可在3秒内自动对焦被测样品。由此进一步提高定位操作的便捷性。

    ●自动对焦功能    简便的摄像头对焦

    ●自动接近功能    最适合位置的对焦

            

 

2.通过新薄膜FP法提高测量精度

   FT110A实现微小光束的高灵敏度,通过微小准直器提高了膜厚测量精度。镀层测量时间比本公司原有机型缩短了1/2。另外,针对检测器的特性开发了新的EP法,FT110A可进行无标样测量。测量结果可一键生成报告书,简单方便。

    ●新 薄膜EP法    

      减少检量线制作的繁琐程度、实现了设定测量条件的简易化

      无标样测量方法可进行最多5层的膜厚测量

    ●自动对焦功能和距离修正功能    

      凹凸落差的样品可通过薄膜EP法做成的相同测定条件进行测量

    ●灵敏度提高

      镀层测量时间比本公司原有机型缩短了1/2

    ●生成报告功能

      一键生成测量报告书

     

 

3.广域样品观察

FT110A对测量平台(250mm*200mm)上放置的样品拍摄一张静态画面后,可在获取的广域观察图像上指定狭域的观察位置。由此,可大幅减少多数测量点位置的选取时间,以及在图像上难以寻找的特定点位置的选定时间。

    ●广域图像观察    轻松定位

               

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