超薄Au,Pd,Ni和磷青铜的三层镀层测量

2012/05/30   下载量： 5 次

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SEA5120A 为了能精确测量RoHS 指令的对象元素(Cd,Pb,Br,Hg,Cr)， 配备有Cd 用、Pb 用、 Cr 用3 种一次滤波器。但是， 能有效使用一次滤波器的元素不限于RoHS 指令的对象元素。 在这里作为有害物质测量用一次滤波器的膜厚测量的应用， 介绍测量超薄镀层的事例。

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