超薄Au镀膜的测量

2012/05/30   下载量： 3 次

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用SFT系列（微小部分荧光X射线膜厚仪）对０.０５μｍ以下的超薄Au镀层实行测定的时候，受检 测器的分辨率的制约，测定会有些困难。 SEA5100系列采用了高分辨率的半导体检测器，S/N得到大幅改善，能够对几十埃的极薄的Au薄膜进 行测定。

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