上海凯来GenesisGEO Pro双光路多波长飞秒激光剥蚀系统

GenesisGEO Pro双光路多波长飞秒激光剥蚀系统

上海凯来GenesisGEO Pro 双光路多波长飞秒激光剥蚀系统为上海凯来全自研自主创新技术，没有美国技术，无卡脖子风险。GenesisGEO Pro是在原有GenesisGEO系统基础上的升级版，配备了双波长（343nm和257nm）高能量飞秒激光器，并拥有两套独立的光路传导系统，采用了极简光路设计，集成在大理石光学平台上，支持三维变焦剥蚀功能。GenesisGEO Pro全新的技术理念颠覆了人们对传统激光剥蚀技术的认知，即将带来全新的激光剥蚀技术革新，很快将在地球化学、环境科学、生命科学、新材料及半导体等关键领域的核心技术重点突破。GenesisGEO Pro 双光路多波长飞秒激光剥蚀系统将于近期正式发布，敬请期待。

仪器特点：

• 双波长高能量飞秒激光器：波长343nm & 257nm；

• 光路传导系统：具有两套完全独立的光路传导系统；

• 大理石光学平台：系统集成大理石光学平台，更加稳定；

• 三维变焦剥蚀功能：支持三维变焦剥蚀功能，NO Defocussing；

• 剥蚀坑：形状规则，相对平底；

• 光斑范围：1-500μm连续可调，最低可至500nm；

• 光斑类型：圆形或矩形；

• 重复频率：1-1000Hz可调；

• 激光脉冲宽度：≤190fs；

• 能量密度@样品表面：≥50J/cm²，没有能量焦虑；

• 仪器稳定：光路极简设计，无需任何保护气。

GenesisGEO Pro 双光路多波长飞秒激光剥蚀坑形貌

钠钙玻璃样品

从左向右尺寸依次为10μm, 20μm, 30μm, 40μm, 50μm, 60μm, 70μm, 80μm, 90μm, 100μm, 200μm, 300μm, 400μm, 500μm

钠钙玻璃样品

矩形光斑53*53μm

坑形完整，边界清晰，坑底平整

玻璃样品，相同能量阈值

左为不变焦剥蚀：剥蚀40个脉冲，同一深度 6.9μm。

右为变焦剥蚀：10个脉冲后向下变焦20次，剥蚀深度为43.4μm。

50μm矩形束斑                 50μm圆形束斑

花岗岩类石英样品

193nm剥蚀石英，石英崩裂，明显热效应

从左往右依次是5μm, 10μm, 20μm, 30μm, 50μm, 100μm, 200μm

花岗岩类石英样品

飞秒剥蚀石英，剥蚀坑完整，无明显热效应

fs-LA-ICP-MS成像

样品：锆石

区域尺寸：212*137μm

空间分辨率：500nm

像素：11.6万