[美国ESI]prepFAST_S-高纯化学物质ICP-MS分析的自动进样系统——半导体行业的福音！

上海凯来仪器有限公司

2015/04/12 20:09

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美国ESI[prepFAST_S]——用于半导体行业高纯化学物质ICP-MS分析的自动进样系统

最新的prepFAST_S进样系统是一套超净的自动进样系统，可用于ICP-MS直接分析高纯化学品。 prepFAST_S系统使用内置的注射泵驱动超纯水、高纯硝酸和加标溶液来全自动准备ICP-MS分析样品和标样。

一般ICP-MS样品分析校准即可以使用外部标样自动标定标准曲线方法，也可以使用标准加入法 (即MSA)。样品可以做稀释或不稀释进样分析，也可以在线添加或不加高纯硝酸。

校准模式:

外部标样自动标定标准曲线法

自动标准加入法 (MSA)

样品分析模式:

不稀释

不稀释+MSA加标法

不稀释+加酸酸化

不稀释+加酸酸化+MSA 加标法

在线稀释

在线稀释+MSA加标法

在线稀释+加酸酸化

在线稀释+加酸酸化+MSA加标法

额外能力:

自动QC质控样添加

自动IS内标添加

图示1: 自动处理样品进样

图示1自动处理样品进样.png

图示2: 注射泵推送自动处理好样品直接进样

图示2注射泵推送自动处理好样品直接进样.png

进样时全自动样品处理对于高纯化学品分析可以有以下有个优点：

直接从PFA管子中取样，减少污染风险

在线稀释相对于手动稀释可以减少污染风险

减少人工处理化学品的危险

全自动样品和标样处理，提高工作效率

可直接分析半导体行业的化学品:

98%硫酸 H2SO4

89%磷酸 H3PO4

70%硝酸 HNO3

49%氢氟酸 HF

31%氨水 Ammonium Hydroxide

氢氧化四甲铵TMAH (25%/2.38%)

异丙醇 IPA

丙二醇单甲醚醋酸酯 PGMEA

去离子水 DIW

其它 Others

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