美国ESI[prepFAST_S]——用于半导体行业高纯化学物质ICP-MS分析的自动进样系统
最新的prepFAST_S进样系统是一套超净的自动进样系统,可用于ICP-MS直接分析高纯化学品。 prepFAST_S系统使用内置的注射泵驱动超纯水、高纯硝酸和加标溶液来全自动准备ICP-MS分析样品和标样。
一般ICP-MS样品分析校准即可以使用外部标样自动标定标准曲线方法,也可以使用标准加入法 (即MSA)。 样品可以做稀释或不稀释进样分析,也可以在线添加或不加高纯硝酸。
校准模式:
外部标样自动标定标准曲线法
自动标准加入法 (MSA)
样品分析模式:
不稀释
不稀释+MSA加标法
不稀释+加酸酸化
不稀释+加酸酸化+MSA 加标法
在线稀释
在线稀释+MSA加标法
在线稀释+加酸酸化
在线稀释+加酸酸化+MSA加标法
额外能力:
自动QC质控样添加
自动IS内标添加
图示1: 自动处理样品进样
图示2: 注射泵推送自动处理好样品直接进样
进样时全自动样品处理对于高纯化学品分析可以有以下有个优点:
直接从PFA管子中取样,减少污染风险
在线稀释相对于手动稀释可以减少污染风险
减少人工处理化学品的危险
全自动样品和标样处理,提高工作效率
可直接分析半导体行业的化学品:
98%硫酸 H2SO4
89%磷酸 H3PO4
70%硝酸 HNO3
49%氢氟酸 HF
31%氨水 Ammonium Hydroxide
氢氧化四甲铵TMAH (25%/2.38%)
异丙醇 IPA
丙二醇单甲醚醋酸酯 PGMEA
去离子水 DIW
其它 Others
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