Wafer XRD
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Wafer XRD

参考价：面议
型号： Wafer XRD
产地： 荷兰
品牌： 马尔文帕纳科
评分：
核心参数
马尔文帕纳科
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产品详情

Wafer XRD用于全自动晶圆拣选、生产和质量控制


特点

  • 适用于3到8寸晶圆。也可根据要求提供其他尺寸

  • FOUP、载具或单个晶圆台

  • 跨槽晶圆识别为可选功能

  • 易于集成到任何工艺生产线中

  • 测量速度：每个样品＜10秒

  • 典型标准偏差（倾斜度）：例如Si 100＜0.003°

  • MES和SECS/GEM接口

  • 铜靶微焦点风冷X射线光管（**30W）或细焦点水冷X射线光管（**1.5kW）

  • 完全符合CE标准的安全控制装置

  • 通过3色灯塔指示状



材料

Si、SiC、GaAs、GaN、蓝宝石（Al₂O₃）、Ge、AIN、石英、InP和100s等。


可选插件

  • 电阻率测量范围：0.01至0.020Ωcm

  • 自动识别晶圆数据矩阵码、二维码、条形码或类似代码

  • 未抛光晶圆和镜面的距离测量



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年产1,000,000片晶圆


马尔文帕纳科为您提供马尔文帕纳科Wafer XRD，马尔文帕纳科Wafer XRD产地为荷兰，属于进口X射线衍射仪(XRD)，除了Wafer XRD的参数、价格、型号、原理等信息外，还可为您提供更多X射线衍射仪(XRD),马尔文帕纳科客服电话400-875-0089，售前、售后均可联系。

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