利用XPS和二次离子质谱仪(SIMS)进行材料表面表征

2005-03-13 21:54  下载量:1012

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文章介绍了利用XPS(X-ray Photoelectron Spectroscopy)和SIMS(Secondary Ion Mass Spectrometry)进行多层材料的结构和组成分析。实验方法有很多值得广大材料研究者借鉴之处。

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