高级朗缪尔探针(Langmuir Probe)在等离子体诊断中的应用

2005-03-19 23:55  下载量:892

资料摘要

资料下载

ESPion高级Langmuir探针(Advanced Langmuir Probes for Electrical Plasma Characterisation)可快速、可靠、精确地进行等离子体诊断,是最先进可靠的 Langmuir 探针。 应用: · 蚀刻/沉积/ 清洁等离子体 · 脉冲等离子体操作 · 离子密度 (Ni & Gi) · 电子温度(Te & EEDF) · 电子密度(Ne) · 等离子体电位 · Debye 长度,悬浮电位 http://www.hiden.com.cn/admin/productsm.asp?ArticleID=72&classID=9

资料下载

文献贡献者

相关资料 更多

相关产品

当前位置: 北京英格海德 资料 高级朗缪尔探针(Langmuir Probe)在等离子体诊断中的应用

关注

拨打电话

留言咨询