扫描电声显微镜（SEAM)

仪器简介：
2006年1月9日上午9时，全国科学技术大会在人民大会堂胜利召开，殷庆瑞研究员作为主要获奖者被邀请出席本次大会的颁奖仪式。党和国家领导人胡锦涛和温家宝等为获奖者颁奖。国家技术发明奖为我国奖励技术发明类新成就的最高奖项。
由中国科学院上海硅酸盐研究所殷庆瑞研究员与同济大学钱梦騄、硅酸盐研究所罗豪甦、杨阳、李国荣、惠森兴等同志共同完成的《扫描电声显微镜及其相关器件和材料》项目在全国科学技术大会上获得国家技术发明奖二等奖。
扫描电声显微镜（SEAM）是一种多功能、高分辨率显微成像仪器。该成果获得了具有自主知识产权的四项国家发明专利和一项国外发明专利，是国内外至今唯一实现商品化的电声显微镜，总体技术指标和功能处于国际先进水平。其中电声图像的横向分辨率、纵向分辨率、探测器灵敏度和图像质量处于国际领先。
电声显微镜在金属材料、半导体材料、无机材料、复合材料以及功能器件等领域获得了实际应用，显示了扫描电声显微成像技术在信息产生、信息检测和信息显示等方面的独特优点。
电声显微镜及其相关器件和材料已装备国内有关大学、研究所和工业部门使用，并已出口到美国、德国、日本、荷兰、新加坡、台湾等国家和地区，取得了可观的经济效益和良好的社会效益。被誉为“我国大型科学仪器出口到发达国家和地区的成功范例”。效益显著。
殷庆瑞研究员长期从事功能陶瓷材料、器件、仪器设备的研制及其在工程上的应用。他针对功能陶瓷产业化中急需解决的关键技术问题,提出并主持的国家重大应用基础项目，对于提升相关材料的产业化水平提供了理论和技术依据。研制成功的高温压电陶瓷、无铅压电陶瓷、变阻器材料、透明陶瓷、压电加速度计材料和器件等在航空、航天、热网、电网、轨道交通、通信等工程领域获得了实际应用，经济效益显著。创建的近场声学显微成像技术，在材料表征和评价中取得了一系列创新的成果，有的已被国际权威手册收录。以自行研制的材料和器件为核心技术，建立了多项具有自主知识产权的大型仪器设备：压电超声图形输入设备、光声测量仪,大功率压电喷雾机、扫描电声显微镜和扫描探针声学显微镜等，在国家高技术领域、国防和工业上得到了重要应用。新材料的研究成果带动了高新技术的发展,创建的先进仪器设备又推动了新材料的应用。
殷庆瑞研究员领导的实验室近年来在电声成像技术的基础上又发展了探针声成像技术，并在微、纳米材料和器件的无损分析方面显示了重要的应用前景，推动了我国显微成像科学技术的发展。


技术参数：
* 工作频率：20kHz - 1MHz
* 工作电压：小于等于50V
* 分辨率：横向小于等于0.3um，纵向小于等于0.16um
* 实时观察二次电子像和分层电声像

主要配置：

* 电声成像控制仪
* 锁相放大器
* 电声信号探测器
* 频闪装置
* 图象处理

主要特点：
扫描电声成像系统有力地增强和扩展了普通扫描电镜的功能，是一种适合于科研、教学和工业应用的新型显微成像技术，可方便地装备在其它类型的扫描电镜上。

扫描电声是把电子显微术和声学显微术集成为一体的一种新型的显微成像方法，具有电子显微术高分辨率和声学显微术内部成像的特点，工作模式非常类似于普通的SEM。

扫描电声显微镜（Scanning Electron Acoustic Microscope）是我公司与中国科学院上海硅酸盐所殷庆瑞研究员及其课题组合作生产并销售，已跨出国门的先进分析仪器。此显微镜可用于金属和陶瓷材料的应力分析，半导体材料和电子元器件的位错和界面缺陷显示，信息功能材料的电畴、磁畴及其随外场变化的动态行为观察，多晶材料（薄膜、涂层）晶粒、晶界以及内部缺陷的检测。