| 型号： | SD-981M |
| 产地： | 北京 |
| 品牌： | 博远微纳 |
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SD-891M是北京博远微纳科技有限公司（博远微朗）自主研发的一款高性能离子溅射仪。上市已来深受各大高校和科研院所的喜爱。
于传统溅射仪相比，除兼备其他溅射仪功能外，还有有以优点：
1、SD-891M是一款磁控溅射仪，可对温度敏感的样品进行镀膜，比如：薄膜、橡胶等。并且磁控溅射靶头部分的结构更加科学，稳定。
2、操作模式方面：有自动和手动两种模式（满足更多人的镀膜需求）
3、溅射方面：分为正常启动和柔和启动，可适应一些特殊样品
4、真空方面：真空可调节，真空实现自动通气并稳压力的功能，即避免了手动调节真空的不便，同时避免了固定真空度颗粒度大等方面的缺点。
5、操作界面方面：分为简易界面和多样化界面。可满足大多数人使用。
6、样品台方面：可旋转（选配）
具体参数如下：
参数：
² 主机规格：长510mm×宽310mm×高290mm（含腔体）
² 靶材：Au（标配）50mm×0.1mm（D×H）
² 样品室：玻璃腔体直径180mm×高120mm（D×H）
² 样品台直径：φ70mm
² 靶材尺寸：Ф50mm
² 最高真空度：1Pa
² 工作真空：2-15Pa
² 定时器：数码计时 0-600S
² 镀膜面积：50mm
² 溅射电流：0-50mA(可调）
² 真空测量：皮拉尼真空计
² 触摸屏：4寸
² 程序：VPI人机界面
² 可通入气体：多种
² 机械泵：VRD-8
² 速率：0--60nm/min
² 主机功率：100W
² 工作电压：220V,50HZ
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