氦离子色谱仪适用电子工业用气体中痕量杂质的检测，小检测浓度可达5ppb。仪器配备高灵敏的氦离子化检测器，采用华爱公司的中心切割技术，进样阀均带有吹扫保护气路；整机采用多柱箱设计，并配备进样压力自动校正系统
四氟化碳分析氦离子色谱仪配备高灵敏的氦离子化检测器，采用华爱公司的中心切割技术，进样阀均带有吹扫保护气路；整机采用多柱箱设计，并配备进样压力自动校正系统，不同底气的样品的进样量。产品先后荣获上海市成果转化A级项目。
| 项目 | 指 标 |
| 四氟化碳（CF4）纯度（体积分数）/10-2 ≥ | 99.999 | 99.995 | 99.99 |
| 氮（N2）含量（体积分数）/10-6 ＜ | 4 | 20 | 40 |
| 氧+氩（O2+Ar）含量（体积分数）/10-6 ＜ | 1 | 5 | 10 |
| 二氧化碳（CO2）含量（体积分数）/10-6 ＜ | 1 | 5 | 10 |
| 一氧化碳（CO）含量（体积分数）/10-6 ＜ | 0.1 | 0.5 | 1 |
| 六氟化硫（SF6）含量（体积分数）/10-6 ＜ | 1 | 1 | 5 |
| 水分（H2O）含量（体积分数）/含量，10-6 ＜ | 3 | 5 | 10 |
| 酸度（以HF计）含量含量（体积分数）/10-6 ＜ | 0.1 | 0.3 | 0.3 |
| 其它卤碳化合物a含量（体积分数）/10-6 ＜ | 1 | 10 | 30 |
| 总杂质含量(体积分数)/l0-6 ≤ | 10 | 50 | 10 |
| 颗粒 | 供需双方商定 | 供需双方商定 | 供需双方商定 |
其它卤碳化合物包括：六氟乙烷、八氟丙烷等。 |
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