华爱色谱参与的5项电子气国家标准正式颁布

上海华爱色谱分析技术有限公司

2024/06/24 13:52
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由华爱色谱参与修制定的5项电子气国家标准正式颁布： GB/T 43771-2024《电子气体 一氧化碳 》，GB/T 43772-2024《电子气体 二氧化碳》和GB/T 43773-2024《电子气体 羰基硫》于2024年3月15日颁布，2024年10月1日 起正式实施。GB/T 43976-2024 《电子气体 四氟甲烷》和GB/T 43977-2024《电子气体 八氟环丁烷》于 2024年4月25日颁布，2024年11月1日 起正式实施。

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电子气作为核心工艺材料，其质量和纯度直接影响芯片制造的效率和成品率。电子气在蚀刻、沉积、清洗等半导体制造工艺中起着至关重要的作用。电子气不仅是半导体制造的基础保障，更是推动科技进步和行业发展的关键力量。其应用范围广泛，包括晶圆制造、显示器生产和太阳能电池等领域，支撑着众多高科技产业的发展。

华爱色谱作为全国气体标准验证平台，承担了色谱分析方法的制定。



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