TESCAN扫描电镜之三维重构功能

2017-11-22 11:54  下载量:48

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TESCAN 电镜具有3D scanning的功能,一方面可以通过倾斜电子束,不转动样品,实现3D效果,另一方面也可以通过倾斜样品台实现3D效果,见图1 所示。 电子束摇摆模式可以实现表面高低起伏较大,小工作距离,高分辨下的三维重构,样品台摇摆模式更适用于表面较平坦,工作距离大时的三维重构。

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