扫描电镜应用技巧之加速电压如何选择

2017-11-22 12:19 下载量：78

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扫描电镜在使用过程中有许多参数可变，从而实现不同的工作条件，达到不同的拍摄目的。每台扫描电镜在出厂时都分别给出了高加速电压和低加速电压下的分辨率。众所周知，加速电压越高，扫描电镜具有越高的分辨率。那是不是对于任何试样都是加速电压越高越好？加速电压是扫描电镜非常重要的参数之一，很多其他参数都要在其基础上做出最优化选择，而加速电压的选择也要考虑各种因素，例如样品损伤、荷电效应、穿透深度、形貌和成分衬度的平衡，表面污染程度，以及其他附件分析（例如EDS和EBSD）等等。

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文献贡献者

泰思肯（中国）有限公司

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