方案摘要
方案下载应用领域 | 能源/新能源 |
检测样本 | 太阳能 |
检测项目 | |
参考标准 | 无 |
FIB-SEM上的TOF-SIMS可以提供如下的功能: 1.轻元素分析:元素分析范围从H开始; 2.痕量元素分析:由于TOF-SIMS具有极高的灵敏度,几个ppm的轻元素都可以进行表征; 3.优秀的空间分辨率:由于离子束与样品的作用区域更小,空间分辨率可达10nm; 4.深度剖析:由于离子束可以逐层剥离样品,从而可以实现深度上对元素分布的表征。
大型的飞行时间二次离子质谱仪(TOF-SIMS)是非常昂贵的元素及同位素分析设备,现在TESCAN已经将小型化的TOF-SIMS集成于所有的FIB-SEM上了。
飞行时间二次离子质谱仪就是利用离子束轰击样品的表面,激发产生的二次离子加速进入质谱仪。由于不同离子的荷质比不同,在相同的加速电场下,不同荷质比的离子到达探测器的飞行时间就不同,因此利用飞行时间的差别就将不同荷质比的离子区分开来。
FIB-SEM上的TOF-SIMS可以提供如下的功能:
1. 轻元素分析:元素分析范围从H开始;
2. 痕量元素分析:由于TOF-SIMS具有极高的灵敏度,几个ppm的轻元素都可以进行表征;
3. 优秀的空间分辨率:由于离子束与样品的作用区域更小,空间分辨率可达10nm;
4. 深度剖析:由于离子束可以逐层剥离样品,从而可以实现深度上对元素分布的表征。
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