太阳能null检测 | FIB-SEM双束电镜应用之TOF-SIMS轻元素分析-泰思肯（中国）有限公司

方案摘要

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应用领域	能源/新能源
检测样本	太阳能
检测项目
参考标准	无

FIB-SEM上的TOF-SIMS可以提供如下的功能： 1.轻元素分析：元素分析范围从H开始； 2.痕量元素分析：由于TOF-SIMS具有极高的灵敏度，几个ppm的轻元素都可以进行表征； 3.优秀的空间分辨率：由于离子束与样品的作用区域更小，空间分辨率可达10nm； 4.深度剖析：由于离子束可以逐层剥离样品，从而可以实现深度上对元素分布的表征。

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方案详情

大型的飞行时间二次离子质谱仪（TOF-SIMS）是非常昂贵的元素及同位素分析设备，现在TESCAN已经将小型化的TOF-SIMS集成于所有的FIB-SEM上了。

飞行时间二次离子质谱仪就是利用离子束轰击样品的表面，激发产生的二次离子加速进入质谱仪。由于不同离子的荷质比不同，在相同的加速电场下，不同荷质比的离子到达探测器的飞行时间就不同，因此利用飞行时间的差别就将不同荷质比的离子区分开来。

FIB-SEM上的TOF-SIMS可以提供如下的功能：

1. 轻元素分析：元素分析范围从H开始；

2. 痕量元素分析：由于TOF-SIMS具有极高的灵敏度，几个ppm的轻元素都可以进行表征；

3. 优秀的空间分辨率：由于离子束与样品的作用区域更小，空间分辨率可达10nm；

4. 深度剖析：由于离子束可以逐层剥离样品，从而可以实现深度上对元素分布的表征。

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文献贡献者

泰思肯（中国）有限公司

白金会员丨第19年

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