Semiconsoft反射膜厚仪MProbe UVVisSR_价格-铂悦仪器（上海）有限公司

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产品概述

MProbe UVVisSR薄膜测厚仪大部分透光或弱吸收的薄膜均可以快速且稳定的被测量。比如：氧化物，氮化物，光刻胶，高分子聚合物，半导体(硅，单晶硅，多晶硅)，半导体化合物(AlGaAs, InGaAs，CdTe, CIGS)，硬涂层(碳化硅，类金刚石炭)，聚合物涂层(聚对二甲苯，聚甲基丙烯酸甲酯，聚酰胺)

该机大部分透光或弱吸收的薄膜均可以快速且稳定的被测量。比如：氧化物，氮化物，光刻胶，高分子聚合物，半导体(硅，单晶硅，多晶硅)，半导体化合物(AlGaAs, InGaAs，CdTe, CIGS)，硬涂层(碳化硅，类金刚石炭)，聚合物涂层(聚对二甲苯，聚甲基丙烯酸甲酯，聚酰胺)

测量范围: 1 nm -50um

波长范围: 200 nm -1000 nm

MProbe UVVisSR薄膜测厚仪适用于实时在线测量，多层测量，非均匀涂层, 软件包含大量材料库(超过500材料)，新材料可以很容易的添加，支持多重算法：Cauchy, Tauc-Lorentz, Cody-Lorentz, EMA等。

测量指标：薄膜厚度，光学常数

界面友好强大: 一键式测量和分析。

实用的工具：曲线拟合和灵敏度分析，背景和变形校正，连接层和材料，多样品测量，动态测量和产线批量处理。

（MProble NIR薄膜测厚仪系统示）

案例1，73nm SiN氮化硅薄膜的测量

案例1，73nm SiN氮化硅薄膜的测量.png

硅晶圆反射率，测量时间10ms

硅晶圆反射率，测量时间10ms.png

使用Tauc-Lorentz模型，测量SiN薄膜的n和k值

使用Tauc-Lorentz模型，测量SiN薄膜的n和k值.png

铂悦仪器（上海）有限公司为您提供Semiconsoft反射膜厚仪MProbe UVVisSR，SemiconsoftMProbe UVVisSR产地为德国，属于进口在线测厚仪，除了反射膜厚仪MProbe UVVisSR的参数、价格、型号、原理等信息外，还可为您提供MProbe NIR薄膜测厚仪,铂悦仪器客服电话400-801-8356，售前、售后均可联系。

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企业名称: 铂悦仪器(上海)有限公司
企业类型: 有限责任公司(自然人独资)
信用代码: 91310117698818989B
成立日期: 2009年12月29日
注册资本: 人民币500.0000万元整
经营范围: 仪器仪表、实验室设备、机械设备及配件、机电设备及配件、电子产品、化工原料及产品(除危险化学品、监控化学品、烟花爆竹、民用爆炸物品、易制毒化学品)、一般劳防用品、玻璃制品的销售;仪器仪表、实验室设备、机械设备及配件、机电设备及配件、电子产品的技术开发、技术咨询、技术转让、技术服务;一类医疗器械、仪器仪表的维修;自有设备租赁(除金融租赁);广告设计、制作、利用自有媒体发布各类广告、电子商务(不得从事增值电信、金融业务);从事货物及技术的进出口业务。(依法须经批准的项目,经相关部门批准后方可开展经营活动)

型号：	MProbe UVVisSR
产地：	德国
品牌：	Semiconsoft
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