VICI:氦气和氮气纯化器

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HP2(氦气纯化器)

·纯化的气体:氦、氖、氩、氪、氙、氡;

·Z大操作压力:1000psi

·能去除的杂质:出口杂质低于10ppbH2OH2 O2  N2 NO CO CO2 CH4 NH3),此基于10ppm的总进样杂质为前提,其它去除杂质包括CF4 CCl4 SiH4和低分子碳化物等;

·CE认证。

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NP2(氮气纯化器)

·纯化的气体:氮气;

·Z大操作压力:1000psi

·能去除的杂质:出口杂质低于10ppbH2OH2 O2  N2 NO CO CO2 NH3),此基于10ppm的总进样杂质为前提,其它去除杂质包括CF4 CCl4 SiH4和低分子碳化物等。

·CE认证。


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