方案摘要
方案下载应用领域 | 其他 |
检测样本 | 其他 |
检测项目 | |
参考标准 | NA |
工业C-T断层扫描被广泛用于材料测试和工件尺寸表征。设计一个的锥束C-T系统的挑战之一是它的几何测量系统。近,瑞士联邦计量院(METAS)的科学家将德国attocube公司的IDS3010皮米精度激光干涉仪用于X射线源、样品和探测器之间的精密位移跟踪。实验共有八个轴用于位移跟踪。除了测量位移之外,该实验装置还能够实现样品台的角度误差分析。终实现了非线性度小于0.1μm,锥束稳定性在一小时内优于10ppb的高精度工业C-T。
工业C-T断层扫描被广泛用于材料测试和工件尺寸表征。设计一个精确的锥束C-T系统的挑战之一是它的几何测量系统。最近,瑞士联邦计量院(METAS)的科学家将德国attocube公司的IDS3010皮米精度激光干涉仪用于X射线源、样品和探测器之间的精密位移跟踪。实验共有八个轴用于位移跟踪。除了测量位移之外,该实验装置还能够实现样品台的角度误差分析。最终实现了非线性度小于0.1μm,锥束稳定性在一小时内优于10ppb的高精度工业C-T。
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