方案摘要
方案下载| 应用领域 | 石油/化工 |
| 检测样本 | 其他 |
| 检测项目 | |
| 参考标准 | - |
在其他气体和纳米颗粒被引入到等离子体腔室时，可以使用Ocean HDX光谱仪测量氩等离子体的发射变化。在封闭反应室中的等离子体的光谱数据，将通过光谱仪，光纤和余弦校正器从腔室外的小窗口收集的发射光谱而得到。 Ocean HDX光谱仪为UV-Vis配置，采用400μm抗老化的光纤耦合余弦校正器进行采样。选择抗老化光纤是为了避免由等离子体的强UV光引起的光纤内涂层降解。选择余弦校正器从等离子腔室获取数据可解决等离子体强度的差异和测量窗口的不均匀结垢。准直透镜也可作为等离子体监测测量中余弦校正器的常用备选方案。
实时获取等离子体发射光谱
基于Ocean HDX光谱仪的模块化光谱设置用于监测引入不同气体和纳米颗粒后氩等离子体发射的变化。测量在封闭的反应室中进行，使用光纤和余弦校正器耦合到光谱仪，通过反应腔体中的小窗口进行观察。测量结果表明模块化光谱组件可实时获取等离子体发射光谱。通过发射光谱确定的等离子体特性可用于监测和控制基于等离子体的反应过程。
背景
等离子体是一种被高能量激发的气体状态，其中一部分原子被激发或电离形成自由电子和离子。当激发的中性粒子的电子重新回到基态时，等离子体能发射可表征原子特异性的特定波长的光。发射光的光谱分布用于确定等离子体的成分。等离子体可通过使用高能方法电离原子形成，包括加热，高功率激光，微波，电和射频。
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