日本理学Rigaku 顺序型波长色散X射线荧光光谱仪ZSX Primus 400

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日本理学Rigaku 顺序型波长色散X射线荧光光谱仪ZSX Primus 400

产品描述

连续波长色散X射线荧光光谱仪

Rigaku 独特的 ZSX Primus 400 连续波长色散 X 射线荧光 (WDXRF) 光谱仪专为处理非常大或重的样品而设计。该系统可接受直径最大为 400 毫米、厚度为 50 毫米和质量为 30 千克的样品，非常适合分析溅射靶材、磁盘，或用于多层薄膜计量或大型样品的元素分析。

优点

带有定制样品适配器系统的 XRF,适应特定样品分析需求的多功能性，可使用可选适配器插件适应各种样品尺寸和形状。凭借可变测量点（直径 30 毫米至 0.5 毫米，具有 5 步自动选择）和具有多点测量的映射功能以检查样品均匀性。

具有可用相机和特殊照明的 XRF,可选的实时摄像头允许在软件中查看分析区域。

仍保留了传统仪器的所有分析能力。

应用领域

固体、液体、粉末、合金和薄膜的元素分析:

溅射靶材组成.

隔离膜：SiO₂、BPSG、PSG、AsSG、Si₃N₄、SiOF、SiON等。

高 k 和铁电介质薄膜：PZT、BST、SBT、Ta2O5、HfSiOx

金属薄膜：Al-Cu-Si、W、TiW、Co、TiN、TaN、Ta-Al、Ir、Pt、Ru、Au、Ni等。

电极膜：掺杂多晶硅（掺杂剂：B、N、O、P、As）、非晶硅、WSix、Pt等。

其他掺杂薄膜（As、P）、困惰性气体（Ne、Ar、Kr等）、C（DLC）

铁电薄膜、FRAM、MRAM、GMR、TMR；PCM、GST、GeTe

焊料凸点成分：SnAg、SnAgCuNi

MEMS：ZnO、AlN、PZT的厚度和成分

SAW器件工艺：AlN、ZnO、ZnS、SiO 2（压电薄膜）的厚度和成分；Al、AlCu、AlSc、AlTi（电极膜）

■ 技术参数

大样本分析：最大 400 毫米（直径），最大 50 毫米（厚度），高达 30 千克（质量）

样品适配器系统，适用于各种样本量

测量点：30 毫米至 0.5 毫米直径，5步自动选择

映射能力，允许多点测量

样品视图相机（可选）

分析范围：Be - U

元素范围：ppm 至 %

厚度范围：sub Å 至 mm

衍射干扰抑制（可选）：单晶衬底的准确结果

符合行业标准：SEMI、CE标志

占地面积小，以前型号的 50% 占地面积

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企业名称: 深圳华普通用科技有限公司
企业类型: 有限责任公司
信用代码: 91440300568501334R
成立日期: 2011年01月27日
注册资本: 1000万
经营范围: 仪器仪表、电子元器件、测试系统、自动化生产设备、办公用品的设计、研发、销售、租赁与技术咨询及维修（限上门维修）；标准物质的研发和销售；计算机软件开发（以上不含国家限制项目和专营、专控、专卖商品）；安全技术咨询（不含国家限制项目）；国内贸易（不含专营、专控、专卖商品）；经营进出口业务。（法律、行政法规、国务院决定禁止的项目除外，限制的项目须取得许可后方可经营）；专业设计服务；机械设备销售；仪器仪表销售；软件销售；技术服务、技术开发、技术咨询、技术交流、技术转让、技术推广；化工产品销售（不含许可类化工产品）；建筑装饰材料销售；特种设备销售；环境保护监测；工程管理服务；家具安装和维修服务。（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动），许可经营项目是：实验室检测；仪器仪表、电子元器件、测试系统、自动化生产设备、办公用品的生产。建设工程设计；对外承包工程；建设工程施工（除核电站建设经营、民用机场建设）；建筑智能化工程施工。（依法须经批准的项目，经相关部门批准后方可开展经营活动，具体经营项目以相关部门批准文件或许可证件为准）

型号：	ZSX Primus 400
产地：	日本
品牌：	日本理学
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