三维白光干涉仪

三维白光干涉仪

参考价:$10万
型号: UP-WLI
产地: 美国
品牌: Rtec
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产品详情

                   白光干涉测量系统沿着垂直轴向捕获光强数据,通过白光干涉图的形状,局部相位或者两者结合确定表面位置

Vertical Resolution
垂直分辨率
0.1nm
0.1nm
Turret
转轮
upto 6 objective turret (manual or automatic)
6镜头转轮(自动或手动)
Scan Range
扫描范围
Up to 150mm x 150mm
最高达150mmx150mm
Sample thickness
试样厚度
upto 100mm
最高达100mm
FOV
视场
upto 10mm
最高达10mm
Objectives
物镜
10x,50x
10倍,50倍
Z focussing range
Z轴方向聚焦范围
  1. nm to 10mm

  2. 0.1nm到10mm

Scanning area
扫描区域
150x150mm
 150x150mm
Tilt
倾斜角
+/- 7 degree
+/-7度
Rotation (theta)
平台旋转范围
360 Degree
360度
Pixel
像素
Standard 1024 x 1024
标准1024x1024
艾泰克仪器科技(南京)有限公司为您提供Rtec三维白光干涉仪UP-WLI,RtecUP-WLI产地为美国,属于进口白光干涉测厚仪,除了三维白光干涉仪的参数、价格、型号、原理等信息外,还可为您提供更多白光干涉测厚仪,艾泰克客服电话400-860-5168转1329,售前、售后均可联系。

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