Edwards nEXT300D 涡轮分子泵
Edwards nEXT300D 涡轮分子泵
Edwards nEXT300D 涡轮分子泵
优选

Edwards nEXT300D 涡轮分子泵

报价:¥7万 - 10万
型号: nEXT300D
产地: 英国
品牌: 埃地沃兹
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核心参数
产品详情
简介
nEXT300D涡轮分子泵结合了磁悬浮轴承与陶瓷轴承技术,提供ISO100和CF100两种接口,对N2的抽速为300L/S。其设计紧凑、易于维护,并能实现高效系统化。该泵与Edwards的TAG和TIC系列控制器兼容,具备卓越的抽速和压缩比,符合RoHS标准并获得CSA/UL认证。



nEXT300D 涡轮分子泵


概述

nEXT300D分子泵是一款磁悬浮轴承与陶瓷轴承结合使用的复合分子泵,有ISO100CF100两种入口法兰接口,对N2的抽速为300l/snEXT泵采用Edwards成熟的轴承技术,上轴承为永久性磁悬浮轴承,下轴承为油润滑陶瓷轴承,并改进转子设计,使其更加有效地实现分子拖曳行程,最终提高抽速和压缩比,同时真正实现了用户自行维护。它们采用24V48V直流无传感器电机,内置驱动,与EdwardsTAGTIC系列控制器完全兼容。该分子泵有80W160W两种最大预设功率可选,前者可使用100W TIC控制器,适用于抽氩气,但在该功率下达到满转速的加速时间较长。

基本的分子泵系统通常由nEXT300D泵、TAGTIC控制器、空冷或水冷附件以及合适的前级泵组成。


性能特点

  • 最新的转子设计,可以实现卓越的抽速和压缩比

  • 维护简便,用户可以在短时间内完成维护,无需复杂的工具或拆卸

  • 设计紧凑,性能卓越,可以实现高效系统化

  • Edwards TIC涡轮仪表控制器兼容,可加3个真空规,而无需额外控制器

  • 符合RoHS,并通过CSA/UL认可

技术指标


入口法兰

DN100ISO-KDN100CF

出口法兰

KF25

N2

300l/s

He

340l/s

H2

280l/s

N2

>1×1011

He

1×106

H2

5×104

极限真空(ISO/CFRV前级泵)

<6×10-8/<5×10-10 mbar

推荐前级泵*

RV12/nXDS10i

放气口

1/8英寸BSP母螺纹

吹扫口

1/8英寸BSP母螺纹

最大连续入口流量(氮气)?

水冷(水温15°C,环境温度40°C

95sccm

空冷(环境温度35°C

115sccm

泵转速

标称转速

60000rpm

待机转速

33000~60000rpm可调

(缺省42000 rpm

功率范围

50~200W可调

(缺省160W

90%转速启动时间

145s?

模拟输出

泵转速、功耗、泵温度、控制温度

冷却方式#

空冷/水冷

空冷环境温度

5~35°C

最小水冷流速

15°C的水)

15l/ h

水温范围

10~20°C

入口法兰最高温度

80°C

工作姿态

垂直、水平(±2°)

噪声(1m处)

<45dB(A)

最大耐受磁场

5mT

推荐控制器

TIC200涡轮仪表控制器

稳态功耗

20W

*  根据应用可使用较小的前级泵,如使用隔膜泵要求极限真空小于 5 mbar,如XDD1

如大于该入口压力,转速会降至标称转速以下。

功率为160 W

#  空冷和水冷却附件须单独订购。

订货信息

货号

描述

B82200100

nEXT300D涡轮分子泵ISO100 入口法兰

B82200200

nEXT300D涡轮分子泵CF100 入口法兰

B82200101

nEXT300D涡轮分子泵ISO100 入口法兰,80W

B82200201

nEXT300D涡轮分子泵CF100   入口法兰,80W

D39722000

TIC涡轮仪表控制器:200WRS232

B58053175

nEXT径向风扇

B58053170

nEXT径向风扇,带泵驱动接

B80000815

nEXT 水冷

B80000812

油滤筒工具

B80000805

轴承和油滤筒工具

B80000811

油滤筒

B80000810

轴承和油滤筒




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