ESS RearTorr-S气体分析质谱仪

ESS RearTorr-S气体分析质谱仪

参考价：面议
型号： RearTorr-S
产地： 英国
品牌： 欧洲质谱
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北京华沛智同科技发展有限公司
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产品详情

ESS RearTorr-S气体分析质谱仪是独一无二的真正的对整个工艺过程提供监控。特殊的进口阀由直接反馈控制方式调节；与过程压力无关，进口阀自动调节，使质谱系统的压力值在所有时间内保持恒定。由占地小，ESS RearTorr-S气体分析质谱仪在洁净实验室是非常有效的解决方案。仪器的核心是一个非常灵敏的四极杆质谱仪，它装备了一个增强型的密封的离子源，检出限达到ppb级，具有极好的稳定性和快速反应时间。系统的设计进一步加强了ESS的可靠性。

紧凑的设计意味着该系统可以直接安装在加工工具上，所以可以满足真实的监控条件，还有一个功能强大的、易于使用的软件包来操作和控制质谱系统。该软件包已经被专门设计用于处理工具应用程序，并允许用户单独选择操作模式，用于特定的流程应用程序。reactorr-s将节省时间和金钱，大大提高你的应用的完整过程。

ESS RearTorr-S气体分析质谱仪半导体工艺过程中监测

? Vacuum Monitoring  真空监测

? CVD   CVD监测

? Baseline RGA 基线残气检测

? Outgassing of Wafer   除晶片

? Ion Implant   离子导入

? Etch     刻蚀

? Transfer Chamber monitoring

? Pump-down profile monitoring

? Leak Testing 渗漏测试

? Process Gas Purity 工艺气提纯度检测


北京华沛智同科技发展有限公司为您提供欧洲质谱ESS RearTorr-S气体分析质谱仪，欧洲质谱RearTorr-S产地为英国，属于过程质谱/在线质谱，除了ESS RearTorr-S气体分析质谱仪的参数、价格、型号、原理等信息外，还可为您提供更多过程质谱/在线质谱,北京华沛智同客服电话，售前、售后均可联系。

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