型号: | AURIGA |
产地: | 德国 |
品牌: | 蔡司 |
评分: |
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这是一台最新设计的聚焦离子束系统,具备高分辨率成像功能。它由电子束系统(SEM)和离子束系统(FIB)组成,可以进行材料的刻蚀,沉积和TEM制样。它可以进行实时(在刻蚀或沉积时)观察(SEM)以及其它分析。
AURIGA 基本参数 |
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分辨率 |
SEM |
FIB |
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GEMINI column 1.0 nm @ 15 kV 1.9 nm @ 1kV |
Cobra column: 2.5 nm @ 30kV Canion column: 7nm@ 30kV |
放大倍数 |
12x – 1000 kx |
300x – 500 kx |
束流 |
4pA – 20 nA (80nm 可选) |
1 pA – 50 nA |
加速电压 |
0.1 - 30 kV |
1.0 – 30 kV |
发射器 |
热场(Schottky) |
Ga 离子源(LMIS) |
气体注入器系统 |
a) 5个(Pt,C,W, 碘,绝缘体,氟化物等) b) 4个+局部电荷中和器(可使用所有的标准探测器) c) 一个 d) 在使用局部电荷中和器时,可使用所有的标准探测器 |
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样品台 |
6 轴超优中心马达台 移动范围 X,Y = 100 mm Z = 55 mm Z” = 10 mm 倾斜= -10 - 60度,旋转=360度 连续 AWD(分析工作距离)=5-8.5 mm |
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样品交换室 |
80 mm / 100 mm 手动样品交换 |
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探测器 |
高效环形 In-lens 二次电子探测器 Everhart-Thornley二次电子探测器 镜筒内置式 EsB背散射电子探测器(带0-1500V过滤网) 二次离子探测器(SESI) 固体背散射电子探测器 BF/DF STEM探测器 |
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样品室 |
330 mm(直径),266 mm(高) 15个接口可安装 STEM,4QBSD,EBSD,EDS,WDS,SIMS,GIS系统,局部电荷中和器等 2个观察用CCD. |
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操作显示系统 |
基于Windows操作系统上的SmartSEM操作界面。 由鼠标,键盘,操作杆控制或控制板(可选) |
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