型号: | MX 1012 |
产地: | 德国 |
品牌: | E+H Metrology |
评分: |
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MX 1012 高分辨率晶圆厚度和平整度测量仪
应用:
适用于 200–300mm 硅晶圆的高分辨率厚度和平整度 (TTV) 测量仪。
适用于不同的厚度范围,几秒内即可完成测量,易于集成到自动机器人分拣系统中。
MX1012 非常适合研发、工艺鉴定以及厚度和平整度 (TTV) 的工艺控制,尤其是在磨削和研磨之后。一对电容式传感器对每个晶圆上的四个径向轮廓(45 度)进行采样,其中包含数百个局部厚度值。如果您的应用需要,也可以简单地增加四个标准扫描,以达到更高的测量覆盖范围。配备MX-NT 操作软件。
测量类型:
厚度、平整度(TTV)
参数:
晶圆尺寸:200mm, 300mm
测量准确度:±0.1 µm
分辨率:10nm
空间分辨率:1mm
扫描次数:最多8次
软件:MXNT
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