晶圆高分辨率厚度和表面形貌测试仪 MX 7012

晶圆高分辨率厚度和表面形貌测试仪 MX 7012

参考价：面议
型号： MX 7012
产地： 德国
品牌： E+H Metrology
评分：
核心参数
瞬渺科技（香港）有限公司
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产品详情

产品简介：

MX 70系列的测试系统用于监督生产过程中的蚀刻过程。它可以集成在蚀刻系统中，并由机器人或自动处理系统装载。

MX 70系列是一款非接触式测量系统，用于测量直径为300mm和450mm晶圆的厚度，TTV，翘曲度，粗糙度和波纹度。

一对电容传感器测量穿过晶圆中心的对角线切割并得出厚度，波纹度和翘曲度。

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测量原理：

MX70系列的测量过程是，在三个橡胶 (NBR) 支撑点上自由放置，晶圆通过高精度空气轴承移动通过测量杆。


通过数学计算和数字滤波器，以图形方式显示以下特性：

- Warp 扫描 (Sori, LSR) (在切割方向的Warp)

- 厚度扫描 (中心道)

- 波纹度扫描 (中心线过滤和拉平)

用户可以从这些排序相关特征中选择值:

- 中心厚度: 最大值、最小值、平均值

- TTV (GBIR), TIR

- Warp

- 波纹度： 最大值, p/v (峰谷比)


技术参数：

1）晶圆直径：300mm, 450mm

2）厚度范围：680-970 µm

3）软件：MXNT


应用：

用于测量直径为300mm和450mm的SIC, GaN, GaAS, InP等半导体晶圆的厚度，TTV，翘曲度，粗糙度和波纹度。


瞬渺科技（香港）有限公司为您提供E+H Metrology晶圆高分辨率厚度和表面形貌测试仪 MX 7012，E+H MetrologyMX 7012产地为德国，属于进口其他晶圆缺陷检测设备，除了晶圆高分辨率厚度和表面形貌测试仪 MX 7012的参数、价格、型号、原理等信息外，还可为您提供更多其他晶圆缺陷检测设备,瞬渺科技客服电话400-860-5168转1545，售前、售后均可联系。

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售后服务
  • 产品货期： 60天
  • 培训服务： 安装调试现场免费培训

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