型号: | SU-1510 |
产地: | 日本 |
品牌: | 日立 |
评分: |
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仪器简介:
主机宽度仅为55cm体型小巧,具有3.0nm分辨率的可能性可变压力扫描电镜
技术参数:
二次电子SE分辨率:3.0nm (高真空,30KV)
背散射电子BSE分辨率:4.0nm (25KV,可变压力模式) 4.0nm (低真空:6Pa, 30KV)
倍率:5~300,000倍
样品台:X: 0~80mm / Y: 0~40mm / Z: 5~50mm / T: -20~90º / R: 360º
最大载入样品尺寸:直径:153mm
最大样品高度:60mm (WD=15mm)
真空系统:涡轮分子泵:1台,机械泵:1台
主要特点:
仪器主体比过去减少20%,可以更加自由地选择安装场地
标配低真空功能,可以对不导电进行无喷涂观察。高低真空转换一键完成
样品台可载入最大直径153mm,高度为60mm(WD=15mm)的样品,并进行EDX分析
强大的鼠标控制功能,可实现电镜的所有操作
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