国仪量子场发射扫描电镜SEM5000Pro
国仪量子场发射扫描电镜SEM5000Pro
优选

国仪量子场发射扫描电镜SEM5000Pro

参考价：¥250万 - 300万
型号： SEM5000Pro
产地： 安徽
品牌： 国仪量子
评分：
应用领域：
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荣誉奖项：
核心参数
创新点
国仪量子自主研发国产热场发射扫描电镜，有以下六大特点 1、分辨率高，低加速电压下实现高分辨成像 2、电磁复合物镜，减小像差，显著提高低电压下的分辨率，而且可观察磁性样品 3、高压隧道技术(SuperTunnel) ，在隧道中的电子能保持高能量，减少了空间电荷效应，低电压分辨率得到保证 4、电子光路无交叉，有效的降低系统像差，提升分辨能力 5、水冷恒温物镜，保证物镜工作的稳定性、可靠性和可重复性 6、磁偏转六孔可调光阑，自动切换光阑孔，无需机械调节，实现高分辨率观察或大束流分析模式快速切换
国仪量子技术（合肥）股份有限公司
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产品详情

场发射扫描电子显微镜SEM5000Pro

产品介绍

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SEM5000Pro是一款分辨率高、功能丰富的场发射扫描 电子显微镜。先进的镜筒设计，高压隧道技术(SuperTunnel)、 低像差无漏磁物镜设计，实现了低电压高分辨率成像，同时磁 性样品可适用。光学导航、完善的自动功能、精心设计的人机 交互，优化的操作和使用流程，无论经验是否丰富，都可以快 速上手，完成高分辨率拍摄任务。


电子枪类型      肖特基场发射电子枪

加速电压          20V ~ 30 kV

分辨率             0.8 nm @ 15 kV, SE    1.2nm @ 1 kV, SE   

样品台             五轴全自动样品台

放大倍率          1 ~ 2,500,000 x


产品特点


分辨率高，低加速电压下实现高分辨成像

高压隧道技术(SuperTunnel) ，在隧道中的电子能保持高能量，减少了空间电荷效应，低电压分辨率得到保证

电磁复合物镜，减小像差，显著提高低电压下的分辨率，而且可观察磁性样品

电子光路无交叉，有效的降低系统像差，提升分辨能力

水冷恒温物镜，保证物镜工作的稳定性、可靠性和可重复性

磁偏转六孔可调光阑，自动切换光阑孔，无需机械调节，实现高分辨率观察或大束流分析模式快速切换


应用领域

image.png


规格参数

关键参数分辨率0.8 nm @15 kV,SE
1.2 nm @1.0 kV,SE
加速电压20V~30 kV
放大倍率1~2,500,000x
电子枪类型肖特基场发射电子枪
样品室真空系统全自动控制
摄像头双摄像头
(光学导航+样品仓内监控)
样品台行程X=110mm,Y=110    mm,Z=50    mm
        T:-10°~+70°,R:360°
探测器

和扩展		标配镜筒内电子探测器
旁侧二次电子探测器(ETD)
选配插入式背散射电子探测器(BSED)
插入式扫描透射探测器(STEM)
能谱仪(EDS)
背散射衍射(EBSD)
样品交换仓
轨迹球&旋钮控制板
软件语言中文
操作系统Windows
导航光学导航、手势快捷导航
自动功能自动亮度对比度、自动聚焦、自动像散


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行业应用
典型用户
用户单位 采购时间
中国科学院上海光学精密机械研究所 2022/12/01
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