ICP电感耦合等离子体（Inductively Coupled Plasma），有时人们在口语中，常以“ICP”作为简称来代替“ ICP-OES和ICP-AES ”。其实ICP家族还可以与质谱联用，成为检出限更低、分析范围更广的ICP-MS，即“以ICP方式离子化的”质谱。ICP主要用于样品中元素的定性（有无）和定量（多少）分析，可以分析元素周期表中70多种元素。
ICP-OES强大的定量功能在样品元素分析中运用得非常广泛，涉及的领域包括纳米，催化，能源，化工，生物，地质、环保、医药、食品、冶金、农业等。
ICP-OES和ICP-AES是利用等离子体激发光源使试样蒸发汽化，离解或分解为原子状态，原子可进一步电离成离子状态，原子及离子在光源中激发发光。利用分光系统将光源发射的光分解为按波长排列的光谱，之后利用光电器件检测光谱。
根据测定得到的光谱波长对试样进行定性分析，按发射光强度进行定量分析。
工作方式如下：
待测试样经喷雾器形成气溶胶进入石英炬管等离子体中心通道，经过光源加热激发所辐射出光，经光栅衍射分光，通过步进电机转动光栅，将元素的特征谱线准确定位于出口狭缝处，光电倍增管将该谱线光强转变为光电流，再经电路处理，由计算机进行数据处理来确定元素的含量。
定性分析：通过特征谱线的位置（波长）进行定性。由于每个元素的特征发射谱线不一样，通过几条特征谱线是否存在就可以确定样品中是否存在该元素。
定性分析时，所给出的谱图如下图所示，实际上就是全波长范围内的原子发射光谱图（线状谱图）
定量分析：通过特征谱线的强度进行定量，定量分析一般采用标准曲线法。
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