日本真空理工公司推出最新红外线加热炉Mila-5000

2014-09-03 12:56  下载量:18

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随着半导体制造工艺朝着高密度,高集成方向的迅速发展,科技研发人员将对RTP(Rapid Thermal Processing)的加热技术更加关注。继MILA-3000系列之后最近日本真空理工公司推出新型MILA-5000红外线加热炉.该加热炉具有快速加热和快速冷却的功能,无环境污染等特长,并同高精的温度控制器组合为一体。具有价格低,体积小,性能高等特点。对于记忆材料和强导电体相关的RTP研究工作,MILA-5000红外线加热炉将提供更广泛的测量领域。

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