写真化学膜厚测量装置

写真化学膜厚测量装置

参考价:面议
型号: 反射型/透射型
产地: 日本
品牌: 写真化学
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上海首立实业有限公司
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写真化学膜厚测量装置

 

标准型号可测量膜厚对象:

抗蚀剂厚度

多孔膜

ITO

多晶硅

电池电极

玻璃粘合晶片

端点检测

贴合晶片等

 

自动映射膜厚仪

可测量膜厚对象:

抗蚀剂厚度

贴合晶片

多孔膜

ITO

多晶硅

电池电极

玻璃粘合晶片

带图案晶片等

 

分为:标准型号、红外透射式型号、自动映射膜厚仪、成像膜厚仪

 

通用型膜厚监视器(标准型号)

可用作端点监视器

也可以对应粘接剂层、玻璃层等通常较难测量的材料

 

通用型膜厚监视器(红外透射式型号)

对应反射弱的薄膜材料

可对应卷对卷测量

 

自动映射膜厚仪

除了高速自动映射、等高线、3D图显示之外,还自动解析直方图等统计信息

标准对应φ100300mm的圆形晶圆,也可对应方形被测物等特殊形状,可选配定制载物台板

可对应选配项目中的自动校准

 

成像膜厚仪

微细二维膜厚分布原位的可视化

通过在GUI上区域,计算微小区域的膜厚


上海首立实业有限公司为您提供写真化学膜厚测量装置反射型/透射型,写真化学反射型/透射型产地为日本,属于其它测厚仪,除了写真化学膜厚测量装置的参数、价格、型号、原理等信息外,还可为您提供更多其它测厚仪,上海首立实业客服电话400-860-5168转1719,售前、售后均可联系。

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