扫描电镜的电子枪的选择

2012-03-07 14:38  下载量:20

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(1)现代SEM要求分辨率为纳米级别,高电流,小探针大小,有效的低电压操作。 (2)这些需求使钨灯丝电子枪SEM无法跻身于高端SEM行列。 (3)因此现在所有高性能SEM,都采用一些更先进的电子发射源形式。 (4)钨灯丝电镜的价格仍然较便宜,并能满足多种应用需求。

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