用于SEM（EBSD)分析的大面积样品制备新手段

2015-06-10 10:17 下载量：12

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GATAN 第二代精密刻蚀镀膜仪(PECS TMII)是一款桌面型宽束氩离子抛光及镀膜设备。对于同一个样品，可在同一真空环境下完成抛光及镀膜。PECSII是一款完全独立、结构紧凑的台式设备。采用两个宽束氩离子源对样品表面进行抛光，去除损伤层，从而得到高质量样品，用于在SEM，光镜或者扫描探针显微镜上进行成像、 EDS、 EBSD、 CL、 EBIC或其它分析。

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文献贡献者

北京欧波同光学技术有限公司

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