半导体工艺研究中的SEM应用实例

2015-08-13 14:57 下载量：26

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根据半导体工艺的需要，本文介绍了利用 SEM 分析工艺问题的方法。在形成成品之前，特别是工艺设计及加工制造阶段的失效分析及可靠性研究，能够在隐患转变为大面积工艺问题及后期性能参数问题之前，就能够提早定位并彻底解决，更为今后产品大规模量产及产品升级换代提供客观准确的科学依据。SEM 是其中的重要技术手段，尤其在线检测分析更是物尽其用。

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文献贡献者

北京欧波同光学技术有限公司

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