环境扫描电子显微镜的成像特点

2015-10-26 17:10  下载量:9

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环境扫描电子显微镜(ESEM)中所指的环境并非真正意义上的大气环境(760Torr),与传统扫描电子显微镜(SEM)样品室高真空库相比,ESEM 样品室的真空度可以很低(约达 20 Torr)。ESEM 是在传统的SEM 样品室中多一个 GSED 探头,因此,它在传统的 SEM 基础上增添了新的功能。其主要的特点是,可以观察合适量水分的样品和非导体材料样品,比如植物的叶片、动物中的昆虫、作物的籽粒、含结晶水的固体材料等。

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