0.1μm超小型粒子计数器在半导体芯片制造环境中的应用

沈阳加野科学仪器有限公司

2024/08/16 14:50

0.1μm超小型粒子计数器在半导体芯片制造环境中的应用

在半导体芯片制造过程中，对生产环境的洁净度要求极高，必须禁止因粉尘颗粒、工艺偏差等因素造成晶体短路或断路，控制净化环境下的作业现场中超微小颗粒物数量，以保证产品质量和提升产品良率，特别是对于0.1μm粒子的检测至关重要。

在半导体芯片生产过程中，粒子计数器主要应用于：
1、 Fab厂的制造工艺检测：在晶圆的光刻、涂胶显影、刻蚀等多个工艺环节中，使用粒子计数器检测环境中的尘埃粒子，确保工艺的精确性。
2、高端封装过程：在晶圆切割封装过程中，粒子计数器同样发挥着关键作用，保证封装质量。
3、半导体设备生产工艺的质量监测：通过粒子计数器对设备工艺点进行监控，确保生产过程的稳定性和产品质量。

参考法规和标准：
粒子计数器严格遵守ISO 21501-4法规，并满足ISO 14644-1（2015）洁净室悬浮粒子测试方法的要求，适用于class 1至6级的洁净室环境。

使用方法：
参照ISO14644-1（2015）法规的内容，针对不同洁净度等级下监测粒径的上限要求，通过法规内容的计算方法测算采样点数及每个点采样时间，对仪器进行设定后，按照该方法进行逐个点位测试。

ISO等级数N	大于或等于关注粒径的粒子最大允许浓度* 个/m³
ISO等级数N	0.1μm	0.2μm	0.3μm	0.5μm	1μm	5μm
1	10
2	100	24	10
3	1000	237	102	35
4	10000	2370	1020	352	83
5	100000	23700	10200	3520	832
6	1000000	237000	102000	35200	8320	293
7				352000	83200	2930
8				3520000	832000	29300
9				35200000	8320000	293000

KANOMAX公司推出的超小型尘埃粒子计数器3950-00，同时监测0.1μm和0.3μm的单位体积内的微小粒子个数，也可作为传感器嵌入生产设备实时监测作业现场的超微粒子，为净化作业环境的洁净度评定提供依据，为芯片制造保驾护航！

Kanomax尘埃粒子计数器3950-00，颠覆性的技术革新，不仅将经典品质传承，而且完美实现了嵌入组装在半导体制造等装置中。

既往产品尺寸难以嵌入半导体制造装备中使用，本产品通过压倒性的小型化，使传感器嵌入设备中使用变为简便易行。

致轻、致小，采样量2.83L/min，同时测试0.1μm、0.3μm微小粒子，4.3英寸彩色触摸屏显示屏，可使用附带软件在PC上显示测试数据。设有RS-485、Ethernet、USB通讯接口。

品名		尘埃粒子计数器
型号		3950-00
粒子测量	测试方法	光散射法
	粒径通道	2粒径（0.1、0.3μm）
	额定流量	0.1CFM（2.83L/分）、精度±5%、（符合JIS B9921和ISO21501-4)
	测量时间	6秒~99分59秒（1次测量时间）
	间隔时间	6秒~99分59秒（测量周期）
	采样次数	1~999次或连续测试
	地点设定	99个地点
	测量方式	重复、单次、连续、计算
	测量数据显示时间	1~10秒
	测量数据显示	累计值∑ 差分值△及柱形图
	最大可测浓度	10,000,000个/m³
	计数效率	50±20%（相对于最小可测粒径附近的PSL粒子） 100±10%（相对于最小可测粒径的1.5倍~2倍的PSL粒子）（符合JIS B9921 和 ISO21501-4）
	伪计数	<1个/35min
	粒径分辨率	15%以下（相对0.3μm的PSL粒子）（符合JIS B9921 和 ISO21501-4）
	气源	内置泵
显示器		4.3英寸彩色液晶触摸屏
通迅功能	本体	USB（Host用于打印机、USB存储；Device用于与PC链接） Ethernet、RS485（9600、19200、38400 baud）
数据存储	媒体	内存
数据存储	数量、格式	最大10,000个、CSV格式
显示语言		英文、日语
电源		AC100~240V
使用环境	本体	15~35℃、0~85%RH （无结露）
外形尺寸		W150 X H163 X D228 mm
重量		3.4kg

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