水颗粒物>颗粒物检测 | 液体颗粒计数器检测超纯水步骤-普洛帝中国服务中心/普洛帝测控技术有限公司

方案摘要

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超纯水，又称UP水，电阻率达到18MΩ*cm(25℃)的水。常用于集成电路工业中用于半导体原材料和所用器皿的清洗、光刻掩模版的制备和硅片氧化用的水汽源等。此外，其他固态电子器件、厚膜和薄膜电路、印刷电路、真空管等的制作也都要使用超纯水。

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配置单

方案详情

1.方案背景：超纯水，又称UP水，电阻率达到18MΩ*cm(25℃)的水。

常用于集成电路工业中用于半导体原材料和所用器皿的清洗、光刻掩模版的制备和硅片氧化用的水汽源等。此外，其他固态电子器件、厚膜和薄膜电路、印刷电路、真空管等的制作也都要使用超纯水。

2.方案目的：用PMT-2液体颗粒计数器检测超纯水样，并判定超纯水固态悬浮粒子的大小和数量。以此来判定超纯水是否合格。

3.检测仪器：PMT-2 液体颗粒计数器，采用第八代双激光窄光传感器，双精密计量泵研发而成，是一种高精度、高灵敏度的检测仪器，能够准确测量超纯水中的颗粒数量和大小。采用先进的光学技术和数据处理算法，能够快速、准确地完成检测任务。

4.检测步骤：取200mL超纯水水样；放置到仪器取样位置；打开控制电脑，操作软件；设置5秒钟检测一次；重复测样4次，取掉第一次检测数据，取后3组数据平均值作为检测结果；输出数据结果。

5.结果解读与判定
通过液体颗粒计数器检测得到的数据，可以直观地反映超纯水的纯净度。根据行业标准和企业要求，可以对检测结果进行解读和判定，从而确定超纯水是否满足清洗晶圆的需求。
6.注意事项
在使用液体颗粒计数器进行超纯水检测时，需要注意以下几点：

首先，要确保仪器的准确性和稳定性，定期进行校准和维护；

其次，要遵循正确的操作流程，避免误操作和误差的产生；

最后，要及时记录和分析检测结果，以便及时发现问题并采取相应的措施。
7.定期监测与评估
为了保障超纯水质量的持续稳定，需要定期对超纯水进行监测和评估。通过定期使用液体颗粒计数器进行检测，可以及时发现并解决潜在问题。

文献贡献者

普洛帝中国服务中心/普洛帝测控技术有限公司

金牌会员丨第13年

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