FTIR在高纯氟气中的应用

高麦克仪器 GOW-MAC

高纯氟气发展

高纯氟气（F₂）是一种性质非常活泼的气体，具有强氧化性，能与大多数无机物或有机物在室温或低于室温下反应，释放较多的热量，常导致燃烧和爆炸。

高纯氟气因其特殊的性质，可作为氟化试剂用于无机含氟材料、有机含氟材料、半导体材料，被广泛应用于电子、激光技术、医药、塑料、石油化工、航空航天等领域，是化工领域的重要原料。

随着对氟气安全性不断认知和掌控，研究氟气性质、制备杂质分析应用等具有重要意义。

高纯氟气检测难点

1、具有极强的腐蚀性，气相色谱仪很难应用分析。

2、杂质含量低，且大部分具有腐蚀性。

3、极易与水反应生成HF，需短时间内进行快速分析。

高麦应用方案

采用MIDAC I-系列FTIR光谱仪的10m气体池，分析高纯氟气中的杂质。最低检出限可达到：

HF : 0.07 ppm

CF₄ : 0.1 ppm

CO₂ : 0.1 ppm

CH₄ : 0.1 ppm

SF₆ : 0.01 ppm

▲ 仪器特点

高麦成立于1935年,

在中国、美国、日本、韩国等多个国家设有

技术、研发中心，生产、组装工厂、客户运营中心，

逐步形成以北京为总部，

在武汉、杭州，日照，台湾等地分别设立

技术研发和客户运营中心的生态网络，

全方位的为中国乃至全球客户

打造专属的气体行业解决方案。

The Cornerstone of Technology,

Since 1935.

关注高麦，洞见真知。

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