高麦六氟丁二烯分析解决方案

高麦克仪器 GOW-MAC

六氟丁二烯，是一种新型的含氟电子气体，可作为蚀刻气、聚合单体、合成中间体等用于工业生产。与传统的等离子蚀刻气CF₄、C₂F₆、C₃F₈、C₄F₈和NF₃相比，六氟丁二烯具有更快的蚀刻速率、高蚀刻选择性和高深度比。

更重要的是六氟丁二烯在大气中寿命较短，且分子中不含氯，对大气的臭氧层显现惰性，因此六氟丁二烯是一种温室效应极低且绿色高效的蚀刻气体。

作为能替代传统温室效应的新型环保高效蚀刻气，六氟丁二烯中杂质的检测十分重要，为保证六氟丁二烯纯度达到标准要求，高麦提供完整的分析解决方案。

表 1：C₄F₆中杂质分析技术指标

图 1：GM 1900系列气相色谱仪简介

图 2：GM 1900系列气相色谱仪参数

高麦成立于1935年,

在中国、美国、日本、韩国等多个国家设有

技术、研发中心，生产、组装工厂、客户运营中心，

逐步形成以北京为总部，

在武汉、杭州，日照，台湾等地分别设立

技术研发和客户运营中心的生态网络，

全方位的为中国乃至全球客户

打造专属的气体行业解决方案。

The Cornerstone of Technology,

Since 1935.

关注高麦，洞见真知。

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