方案摘要
方案下载| 应用领域 | 石油/化工 |
| 检测样本 | 工业气体 |
| 检测项目 | 含量分析>纯度及杂质含量 |
| 参考标准 | 三氟化氮 |
电子特种气体（简称“电子特气”）是指用于半导体、平板显示及其它电子产品生产的特种气体。晶圆制造主要包括清洗、沉积/CVD、光刻、刻蚀、离子注入、成膜等工艺，从单个芯片生成到最后器件的封装，几乎每一个环节都离不开电子特气，因此电子特气被称为半导体材料的“粮食”和“源”。
电子特种气体（简称“电子特气”）是指用于半导体、平板显示及其它电子产品生产的特种气体。晶圆制造主要包括清洗、沉积/CVD、光刻、刻蚀、离子注入、成膜等工艺，从单个芯片生成到最后器件的封装，几乎每一个环节都离不开电子特气，因此电子特气被称为半导体材料的“粮食”和“源”。
文献贡献者
高麦电子级乙硅烷分析解决方案
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